Ultra Precision Processing超精密加工

世界最大級(φ700)のダイヤモンドターニング装置を新たに加え、スローツールサーボ加工による大型自由曲面ミラーのご要望にお応えします。大型光学部品も高精度ダイヤモンドバイトを使用した鏡面切削加工で高精度仕上げを可能とします。

PICK UP MACHINE

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  MRF研磨機 / Q-flex300

  装置名	Q-flex300（QED technologies）
  加工サイズ	φ300以内

  磁気粘弾性流体を用いた超精密自由曲面研磨装置

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  鏡面仕上げ用CNC旋盤 / Nanoform 700ultra

  装置名	Nanoform 700ultra（プレシテック ）
  最大加工径	φ700(X,Z,C軸)

  ATC搭載・エア除振台完備
  スローツールサーボ加工により大型超高精度自由曲面ミラー加工が可能

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実績

半導体分野	吸着プレート、チャンバー、ステージ、レール、フレーム
液晶・フィルム・電池分野	大型検査用テーブル、吸着テーブル、ビーム、ダイ、ノズル

※加工実績は一部のみ掲載しております

材質

金　属	ステンレス(ＳＵＳ)、アルミニウム(Ａｌ)、銅(Ｃｕ)、チタン(Ｔｉ)、ニッケル(Ｎｉ)、鋼、インバー、鋳鉄、超硬、ベリリウム(Ｂｅ)
非金属	ガラス：石英、ＢＫ７、青板、白板、ホウケイ酸ガラス、　他 単結晶：Ｓｉ(シリコン)、Ｇｅ(ゲルマニウム)、セラミックス：ＳｉＣ、アルミナ、ジルコニア 樹　脂：アクリル、ＰＥＥＫ

加工機

MRF研磨機 / Q-flex300	Q-flex300	１	QED technologies
鏡面仕上げ用CNC旋盤 / Nanoform 700ultra	Nanoform 700ultra	1	プレシテック
随時アップを予定しています