Measuring Instruments測　定

高精度を実現するために必要不可欠である各種測定機器。加工機以上に多彩な設備を整え、お客様に絶対的な安心を保証いたします。

PICK UP MACHINE

  • φ500㎜縦型干渉計システム

    装置名 φ500㎜縦型干渉計システム（清原光学）
    測定範囲 φ500
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  • 非接触表面性状測定機 / NanoCam sq

    装置名 NanoCam sq（4D technology）
    測定範囲 倍率 x2～x10：(5.0x4.8mm) /(1.0x0.9mm)
    本体 約24×24×8cm、重量約4.6Kg
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  • 超大型三次元座標測定機 / MMZ-G30/60/20

    装置名 MMZ-G30/60/20（カールツァイス）
    測定範囲 X：3000㎜/Y：6000㎜/Z：2000㎜
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  • 触針式表面形状・粗さ測定機 / フォームタリサーフ Super S5K

    装置名 フォームタリサーフ Super S5K（AMETEK）
    測定範囲 120mm（直線距離）
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  • 三次元座標測定機 / PRISMO7JV VAST

    装置名 PRISMO7JV VAST（カールツァイス）
    測定範囲 X：900㎜ /Y：2400㎜/Z：1000㎜
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  • 三次元座標測定機 / PRISMO10

    装置名 PRISMO10（カールツァイス）
    測定範囲 X：1600㎜/Y：2400㎜/Z：1000㎜
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  • 三次元座標測定機 / XYZAX FUSION NEX 10/15/8

    装置名 XYZAX FUSION NEX 10/15/8（東京精密）
    測定範囲 X：1000㎜ /Y：1500㎜/Z：800㎜
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  • 非接触表面性状測定機 / NewView8300

    装置名 NewView8300（Zygo）
    倍率 x1.375～x100
    測定範囲 x1.375：6.05x0.05mm
    x100：0.08x0.08mm
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  • 超高精度三次元測定機 / UA3P

    装置名 UA3P-4型特（パナソニック）
    測定範囲 X：100㎜ /　Y：100㎜/　Z：35㎜

    原子間力プローブにより、ワーク表面への損傷を極力抑えた走査測定が可能
    平面、球面の他回転対称の非球面や回転非対称の非球面も測定出来ます

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  • 大口径(12″)レーザー干渉計 / VeriFire Atz

    装置名 VeriFire Atz（Zygo）
    測定サイズ Φ300mm
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