Semiconductor
Flat Panel Display半導体・FPD
次代の技術革新を約束する
コーターダイと研磨技術
01｜ダイ
均一な膜の塗布を可能にする、高精度な流路面・リップの加工に対応します。3800mmサイズも対応可能です。
3800Lダイ
先端 マイクロスコープ画像確認
02｜半導体製造装置部品
各種半導体製造装置に不可欠な高精度部品を製造しています。
03｜ウエハ吸着テーブル
チャックテーブルやスライダーでは高精度の形状加工を必要とします
凹凸形状のご要望にも対応します
ウエハ吸着テーブル- 測定機：Zygo Verifire
PV：0.063μm
RMS：0.012μm
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