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平面から回転非対称形状まで高精度な形状データを取得

UA3Pはパナソニック社製の高精度三次元形状測定機です。特徴は原子間力プローブによる極低圧測定のため、表面への損傷を極力抑えた走査測定が可能な点です。また、非接触測定と比較し、無反射コートを施したレンズも測定可能で最大60°の傾斜も測定ができます。X、Y、Z軸の位置検出は高精度参照ミラーを使用したレーザ干渉法を基準としてステージの真直度の影響をキャンセルするようデータを取り込むため、高精度な測定を可能としています。その信頼度は世界でも大きく評価されています。

測定対象としては平面、球面以外にも回転対称非球面からシリンドリカルやトロイダルのような回転非対称面まで対応可能であり、測定走査ラインも円状や矩形等、自由に設定することが可能です。高精度な加工をお客様に保証するには、同じく高精度な測定機が必要となります。測定をして初めて加工技術にも製品にも信頼をおくことができます。高精度な測定機は高精度な加工技術を謳う上で必要不可欠な存在です。