設　備

φ500㎜縦型干渉計システムφ500㎜縦型干渉計システム

縦型のワークステーション
清原光学製BE500エキスパンダーを搭載しております
波長は変調光源となります

設備データ

φ500㎜縦型干渉計システム

装置名 φ500㎜縦型干渉計システム（清原光学）
測定範囲 φ500
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