事業内容のご案内

PRODUCT MACHINING RESULTS

加工実績

【NEW】 流体シミュレーション用 ガラス製透明ダイコータ
・ 金属材と同等の幾何公差・寸法精度のガラス製ダイの実績紹介
・ 鏡面仕上げ面の粗さはRa0.5nm以下仕上げ。非接触粗さ測定機でのデータ保証
・ 流体シミュレーションとしての用途

マスク用の不織布や、フィルムの塗布工程に使用されるダイコータ。

ダイは、レジスト等を塗布する際に使用される部品ですが、ダイのひずみが膜厚に大きく影響を与えるため高精度な加工が要求されます。                                                                                                             クリスタル光学は、得意とする研削技術で、4000㎜サイズや多層タイプの大型・高精度のダイ製作を強みとしております。

今回は、このダイ製作のなかでも、創業当時から積み上げてきた‟超精密研磨”を生かした「透明ダイ」の製作実績をご紹介します。

 
透明ダイ
均一でムラのない塗布を実現させるために、リップ・流路面・刃先の設計が重要となります。
 
  
材質は、一般的には金属やセラミックが選ばれる事がほとんどですが、塗工液の流れを確認するためにガラス製の透明ダイでのシミュレーションを必要とされる事があります。                                                      クリスタル光学は、ガラスにおいても金属と同等の精度で製作する事が可能です。                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                加工実績

 

サイズ:300mm

材質:石英ガラス

 

<内面平面度>   PV 1.6μm                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   測定器:三次元測定器                                                                                                                                  メーカー:カールツアイス

 

<面粗度>  透明部(研磨部)   Ra0.57nm                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          測定器:非接触表面性状測定機。

                メーカー:Zygo

 

 

【 関連情報 】

 

・測定器  非接触表面性状測定機                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            装置名:New View 8300 ( Zygo )                                                                                                                  倍率:x1.375~x100:(6x6mm) / (0.08x0.08mm)                                                                                                                                                                                                                                                       

 

・ 加工実績   3800mm ダイ製作                                                                                                                        https://www.crystal­opt.co.jp/contents/works/facts/index.php mode=result&seq=4                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        ・ 加工実績   高精度多層ダイ・刃先R形状ダイ                                                                                                 https://www.crystal­opt.co.jp/contents/works/facts/index.php mode=result&seq=23                                                                                                                                                                                                                             
                                                                                                                                                                    透明ダイ