マスク用の不織布や、フィルムの塗布工程に使用されるダイコータ。
ダイは、レジスト等を塗布する際に使用される部品ですが、ダイのひずみが膜厚に大きく影響を与えるため高精度な加工が要求されます。 クリスタル光学は、得意とする研削技術で、4000㎜サイズや多層タイプの大型・高精度のダイ製作を強みとしております。
今回は、このダイ製作のなかでも、創業当時から積み上げてきた‟超精密研磨”を生かした「透明ダイ」の製作実績をご紹介します。
サイズ:300mm
材質:石英ガラス<内面平面度> PV 1.6μm
<面粗度> 透明部(研磨部) Ra0.57nm
メーカー:Zygo
【 関連情報 】
・測定器 非接触表面性状測定機
・ 加工実績 3800mm ダイ製作 https://www.crystalopt.co.jp/contents/works/facts/index.php mode=result&seq=4