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PRODUCT MACHINING RESULTS

加工実績

大型LBO単結晶基板 研磨加工 100x100x1.5mm
LFEXレーザーに導入されるLBO単結晶として、世界最大サイズのLBO単結晶基板の研磨加工に成功いたしました。
大阪大学 レーザー科学研究所の施設である「激光Ⅻ号」は世界でも有数の大型実験装置として広く知られています。
共同開発 : 大阪大学レーザー科学研究所  有川 安信講師
 激光Ⅻ号                                                                           画像提供 : 大阪大学レーザー科学研究所
 
 

【 加工精度 】

透過波面の乱れは0.26μmと非常に優れた研磨精度を実現しました。

   

 形状精度 : PV0.26μm                    表面粗さ:Sa0.44nm   
 測定器 :Zygo Verifire ATZ                  測定器 :Zygo NewView 8300

 

 

   基板サイズ:100x100x1.5mm

 

 

 

使用測定機

大口径(12インチ)レーザー干渉計 
装置名 : Verifire ATZ  (Zygo)
測定範囲 :φ300mm

  詳細紹介

   https://www.crystal­opt.co.jp/contents/works/machinery/Verifireatz.php

 

 

 

非接触表面性状測定機                                装置名 : New View8300  (Zygo)
 倍率 : x1.375~x100:(6x6mm)/(0.08x0.08mm)

 

 

 

【関連技術情報】

単結晶 研磨加工技術                                https://www.crystal­opt.co.jp/contents/works/facts/index.php mode=result&seq=9